Talyrond 595H系(xi)列 高精度測量儀(yi)

Talyrond 595H的所(suo)有(you)軸都經(jing)過精(jing)(jing)密(mi)加(jia)工，加(jia)強(qiang)了(le)軟件自動(dong)更正(zheng)功能(neng)，讓TR595H擁有(you)了(le)*的直線度和圓度精(jing)(jing)確度。調(diao)心和調(diao)平(ping)操作臺配(pei)有(you)高分辨率電機(ji)，進一步加(jia)強(qiang)了(le)精(jing)(jing)度和全自動(dong)設置目標功能(neng)。

該系(xi)統配有(you)的Talymin 5傳感器測量能(neng)(neng)力能(neng)(neng)夠(gou)達到納米級別(bie)，同時自動橫臂機制能(neng)(neng)夠(gou)提供(gong)無(wu)以倫比的多功(gong)能(neng)(neng)化確保能(neng)(neng)夠(gou)測量難以達到的部分。TR595H配置的主動抗振(zhen)控(kong)制托架確保了不(bu)受外界(jie)環境影響(xiang)的測量環境，保證測量環境接近生產過程。

• 全自動軸臂橫向和縱向機制
• 軸臂、立柱和主軸校準自動校準
• 自動傳感器校準
• 高精度空氣軸承主軸精度+/- 0.01 um
• 傳感器分辨率0.3 nm
• 主動隔震和環境隔離系統